激光测量进口轴承表面粗糙度和表面微观形貌 激光照射被测进口轴承表面时,反射率因表面粗糙度不同而有差异,可根据激光反射率测出表 面粗糙度。这方法的优点是不接触测量,易于自动化。这方法测量的缺点在于,虽相同表面粗糙度,但进口轴承加工痕迹不同或材料不同,将测出不同的结果。 激光测表面的微观形貌有不同方法。
美国wYKO 公司生产的’I’OPO测量仪 是移相干涉显微镜的典型代 表,其光学原理见图15. 34,这方法可以直接测量干 涉场上各点的相位具有很高 的空间分辨和测量精度, TOPO测量仪的垂直分辨力 为0.1弘m,水平分辨力为 0.4gm,测量速度快,在几十秒内就能算出表面粗糙度 参数,并能给出干涉条纹图 和被测表面的彩色三维形貌图。
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